チップの断面構造

プレーナ構造はウエーハの表面にゲートが付いているので、プロセス後に表面に電極を着けることができますが、チャネルが横向きになるので、ひとつのセルの面積が大くなってしまいます。
トレンチ構造はウエーハの表面から溝を掘ってゲート電極を埋め込みます。

「トレンチ」は「塹壕」という意味。チャネルを縦に配置することができるのでセルの面積を小さくでき、セルをたくさん並べることができるので、同じチップ面積でもＯＮ抵抗をより小さくすることができます。